離子濺射儀 MSP-1S 是一款小型化、高性價(jià)比的表面鍍膜設(shè)備,核心功能是通過(guò) “離子濺射" 技術(shù)在樣品表面沉積一層超薄金屬薄膜(如金、鉑、鈀金等),其應(yīng)用場(chǎng)景高度聚焦于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,同時(shí)也可用于部分光學(xué) / 電學(xué)樣品的表面改性。
要明確其用途,需先簡(jiǎn)單了解其工作邏輯:
氣體電離:設(shè)備在真空腔體內(nèi)通入惰性氣體(通常是氬氣),通過(guò)高壓電場(chǎng)使氬氣電離,產(chǎn)生帶正電的 “氬離子"。
離子轟擊:帶正電的氬離子在電場(chǎng)加速下,高速轟擊 “靶材"(即待沉積的金屬,如金靶、鉑靶)。
靶材原子濺射:高速氬離子的動(dòng)能傳遞給靶材原子,使部分靶材原子脫離靶材表面,形成 “金屬原子霧"。
薄膜沉積:這些脫離的金屬原子在真空環(huán)境中直線運(yùn)動(dòng),均勻沉積在放置于靶材對(duì)面的 “樣品表面",最終形成一層厚度可控(通常為 5-50nm)的金屬薄膜。
MSP-1S 作為小型化設(shè)備,最核心的用途是解決SEM 觀察的 “導(dǎo)電性問(wèn)題",同時(shí)兼顧少量特殊樣品的表面處理需求。
SEM 觀察的原理是通過(guò) “電子束轟擊樣品表面,收集反射的二次電子 / 背散射電子" 成像。若樣品不導(dǎo)電,會(huì)導(dǎo)致以下問(wèn)題:
MSP-1S 的核心作用就是為非導(dǎo)電樣品鍍一層導(dǎo)電金屬膜,解決上述問(wèn)題,確保 SEM 獲得清晰、穩(wěn)定的圖像。常見(jiàn)適用樣品包括:
高分子材料:塑料、橡膠、樹(shù)脂、纖維、薄膜等;
生物樣品:動(dòng)植物組織切片、細(xì)菌、細(xì)胞(需先經(jīng)過(guò)干燥處理,如臨界點(diǎn)干燥)、昆蟲(chóng)、花粉等;
無(wú)機(jī)非金屬:陶瓷、玻璃、巖石、土壤、粉末樣品(如催化劑、顏料)等;
復(fù)合材料:如碳纖維增強(qiáng)塑料(CFRP)、玻璃纖維制品等。
除 SEM 樣品制備外,基于其 “超薄金屬鍍膜" 能力,還可用于少量小型樣品的表面功能改性:
光學(xué)領(lǐng)域:為小型光學(xué)元件(如微型透鏡、傳感器窗口)鍍一層金屬膜,調(diào)節(jié)其反光 / 透光特性(如增反、減反);
電學(xué)領(lǐng)域:為絕緣基底(如硅片、石英片)鍍一層導(dǎo)電膜,制作微型電極或測(cè)試用導(dǎo)電通路;
保護(hù)涂層:為易氧化 / 易腐蝕的小型樣品(如某些金屬粉末、微型零件)鍍一層惰性金屬膜(如鉑、鈀),提高表面穩(wěn)定性。
MSP-1S 作為 “小型化" 設(shè)備,其設(shè)計(jì)特點(diǎn)決定了它的適用用戶群體:
體積小、操作簡(jiǎn)單:無(wú)需復(fù)雜的真空系統(tǒng)調(diào)試,適合實(shí)驗(yàn)室桌面使用,新手易上手;
鍍膜效率高、成本低:針對(duì)小尺寸樣品(通常樣品臺(tái)直徑≤10mm),鍍膜時(shí)間短(一般 1-5 分鐘),靶材消耗量少;
真空要求適中:采用小型真空泵,可快速達(dá)到工作真空度,無(wú)需長(zhǎng)時(shí)間等待。
因此,它更適合科研實(shí)驗(yàn)室、小型企業(yè)質(zhì)檢部門(mén),用于處理 “小批量、小尺寸" 的非導(dǎo)電樣品,尤其適配中小型 SEM 的日常樣品制備需求(如高校材料 / 生物實(shí)驗(yàn)室、電子元器件質(zhì)檢、微型零件失效分析等)。
離子濺射儀 MSP-1S 的核心定位是 “SEM 樣品導(dǎo)電鍍膜專用設(shè)備",通過(guò)在非導(dǎo)電樣品表面沉積超薄金屬膜,解決 SEM 觀察中的電荷效應(yīng),保證成像質(zhì)量;同時(shí)可兼顧少量小型樣品的光學(xué)、電學(xué)表面改性,是科研和小型生產(chǎn)中 “樣品表面金屬化" 的實(shí)用工具。